在半導(dǎo)體制造過程中,全自動(dòng)晶圓缺陷檢測(cè)技術(shù)對(duì)光學(xué)成像效果要求很高。檢測(cè)分明場(chǎng)和暗場(chǎng),明暗場(chǎng)大多使用高亮光纖光源成像,觀察硅片的表面缺陷(如崩邊缺角,表面臟污)。樂視科技新升級(jí)2代新款高亮光纖光源,同功率下,新款2SLG150比舊款SLG150-W亮度約提升1倍。發(fā)光效能高,發(fā)熱量低,是半導(dǎo)體檢測(cè)的最佳搭配。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆采用多組耦合透鏡設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高亮度,高效能
◆外觀簡(jiǎn)潔流暢,體積更小巧
◆標(biāo)配R/G/B/W/CW(高顯指)型5種顏色
◆20mm照度可達(dá)到900萬LX
◆適合半導(dǎo)體顯微模組應(yīng)用
照度特性
型號(hào):LTS-2SLG150-W
注:調(diào)光100%、光纖8mm光束,總長(zhǎng)1100mm的直型光纖導(dǎo)管,從光纖出光口到各照射距離的位置的實(shí)測(cè)值(僅為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),非保證值)。
亮度對(duì)比圖
2SLG150光纖光源亮度升級(jí)提升一倍。
可配套4款不同集光鏡
照度分布圖(LTS-HL)
照度分布圖(LTS-ML)
可配套4款不同集光鏡
成像灰度對(duì)比圖:
相機(jī):ACA1600-20gm
鏡頭:LTS-TC05110-5MP(1倍)
相機(jī)曝光:60us
顯微模組晶圓應(yīng)用示意圖
光源參數(shù)
感謝您的觀看,我們下期再會(huì)。

